您是否還在被“材質適配窄、精度不穩定、粗糙度與輪廓度需分機測量、批量檢測效率低"問題困擾?中圖儀器白光干涉儀(SuperViewW系列)高精度、高效率、高適配、低運維,搭配全場景適配、自動化高效操作,在半導體、3C電子、光學加工等精密制造領域中解決“測量數據不可重復"“微觀粗糙度檢測精度不足"等測量難題。
一、解決哪些測量痛點?

二、有哪些產品優勢?
1.高重復精度,數據可靠可追溯
粗糙度RMS重復性低至0.005nm,形貌重復性達0.1nm,臺階測量準確度僅0.3%,符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國內外標準。基于白光干涉技術與復合型EPSI重建算法,連續10次測量Sa=0.2nm硅晶片,數據偏差<0.001nm,為工藝優化、產品質檢提供可信的量化依據,某半導體企業應用后,因測量誤差導致的返工率降低15%。
2.高速掃描+自動化,提高效率降低成本
W1-Ultra型號在0.1nm分辨率下掃描速度高達8μm/s,是傳統設備的4倍以上;支持單/多區域一鍵測量、陣列式批量檢測,搭配編程預設流程,實現無人值守自動化操作。
3.全場景適配,無需頻繁換設備
單一掃描模式覆蓋超光滑到粗糙、鏡面到全透明/黑色材質,10mm Z向掃描范圍搭配方形、圓形、螺旋式自動拼接功能,支持數千張圖像無縫拼接。無論是半導體研磨減薄件、3C金屬殼模具,還是光學納米臺階元件,均可精準測量,滿足多品類生產企業一臺設備搞定全場景的需求。
4.穩定防護雙保障,降低運維成本
氣浮式隔振底座隔絕地面振動干擾,0.1nm分辨率環境噪聲評價功能實時監控干擾源;雙重鏡頭防撞保護(軟件ZSTOP+彈簧回縮結構)+光源無人值守自動熄燈設計,設備年損耗率降低至2%以下,光源使用壽命延長3年。
三、行業應用
1.半導體制造及封裝:精準測量硅晶片研磨減薄后的表面粗糙度、光刻槽道形貌,某頭部半導體企業應用后,工藝良率提升8%,檢測數據與國際標準樣塊偏差<0.1%。
2.3C電子:適配手機玻璃屏粗糙度檢測、金屬殼模具瑕疵識別、油墨屏高度差測量,批量檢測無需重復調試,報表自動導出(Word/Excel/PDF),滿足企業質檢標準化需求。
3.光學加工:針對納米臺階、光學元件表面粗糙度測量,實現916.5nm臺階高度精準量化,助力某光學廠商降低產品返工率12%。
4.汽車零部件與MEMS器件:檢測精密齒輪磨損情況、軸承孔隙間隙,在復雜車間環境中保持數據穩定,某車企將零部件質檢周期從1.5小時縮短至40分鐘。

四、合作邀約
SuperView W中圖儀器白光干涉儀助力企業提升質檢效率、降低成本、保障產品品質。現面向全國制造企業、檢測機構、科研單位開放合作,提供定制化測量解決方案與專業技術支持。
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懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。





































